金融界2024年10月16日消息，国家知识产权局信息显示，南京中安半导体设备有限责任公司取得一项名为“成像平面空间的校正方法及其校正装置以及晶圆测量装置”的专利，授权公告号 CN 113516645 B，申请日期为 2021 年 7 月。

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