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浙江百盛光电取得双工位全自动平面测量仪专利提高了晶圆的测量精度
2025-08-01 09:21:44 点击量:

  金融界2025年7月29日消息,国家知识产权局信息显示,浙江百盛光电股份有限公司取得一项名为“一种双工位全自动平面测量仪”的专利,授权公告号CN223166080U,申请日期为2024年10月。

  专利摘要显示,本实用新型公开了一种双工位全自动平面测量仪,包括有上料单元、测量单元以及机械臂;所述测量单元包括有测量底板;高精平晶,所述高精平晶设置在所述测量底板上方;水平载台,所述水平载台具有两个,且分别滑动连接在所述测量底板上端;测量模组,所述测量模组水平滑动连接在所述水平载台和所述高精平晶之间;所述测量底板上设置有暂存托架;所述暂存托架一端设置有U型开口;所述机械臂的末端转动连接有双面吸盘。设置两个用于放置晶圆的水平载台以及可以切换测量工位的测量模组,交替进行上料和测量过程。机械臂和暂存托架对晶圆进行翻面,无需人工协助。设置高精平晶为晶圆的水平测量提供了基准,继而提高了晶圆的测量精度。

  天眼查资料显示,浙江百盛光电股份有限公司,成立于2011年,位于嘉兴市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本5721.91万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江百盛光电股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目41次,专利信息136条,此外企业还拥有行政许可11个。

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